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真空镀膜厂中真空系统的工作原理是什么

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发表时间:2019-11-20 10:07作者:东莞塑胶真空电镀厂来源:惠州真空镀膜哪家好网址:http://www.hqsy123.com

  是不是觉的知道了真空镀膜原理就想着回去试试,先不要着急,来看看真空镀膜中真空系统的工作原理,或许对你更有帮助。

  真空镀膜主要指一类需要在较高真空度下进行的镀膜。主要思路是分成蒸发和溅射两种。需要镀膜的被成为基片,具体包括很多种类,包括真空离子蒸发。

  1,粗抽泵(统称机械泵)他的排气口,直接排放到大气,但极限(能力)小。范围(1E0~大气压)。

  2,罗茨泵,必须在排气口接一个机械泵,工作范围(5E-2~1000Pa),如果没达到工作范围(1000Pa)以上的真空度,运转罗茨泵,使负载大,烧坏罗茨泵的。

  3,分子泵(油扩散泵):以扩散泵为例,工作范围(1E-7Pa~5pa),排气口压力高于5Pa(正常9E-1Pa),低于,扩散泵不起作用,还会使扩散泵油氧化。

  4,粗抽阀,是机械泵开启后,开启粗抽阀。

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